齐鲁网·闪电新闻4月7日讯 发展新质生产力，科技创新是核心驱动力。近年来，寿光不断培育壮大战略性新兴产业，超前布局未来产业，英凌半导体新材料（潍坊）有限公司作为寿光创新型企业的典型代表之一，通过自主研发，攻克了半导体产业的“卡脖子”技术，打破国内空白，以科技创新实现产业向高攀登。
来到英凌半导体新材料（潍坊）有限公司，旋盘车间内技术人员正在对石英炉管和石英法兰进行快速对接，实现一体成型，成品的石英炉管可以承受1150℃的高温。像这样的石英制品是直接承载芯片的容器，也是芯片制造中不可代替的关键材料。在之前，大尺寸石英制品的制作难度极大，像12英寸石英制品在制作工艺控制、加工燃度、加工精度等方面都受到国外技术封锁，生产受限。
英凌半导体新材料（潍坊）有限公司总经理李新说，“通过我们近一年的努力，在12英寸部分石英产品里边已经实现自主研发、自主生产，部分12英寸相关石英配件等产品，已经填补了国内的空白，满足了客户的使用要求。”
除石英制品外，半导体生产线前工序的重要工艺设备之一——扩散设备，也因国外技术垄断，导致产品无法满足市场需求。为了解决这一问题，英凌半导体新材料（潍坊）有限公司投入大量人力物力，对扩散设备的多个关键环节工艺进行自主创新。
英凌半导体新材料（潍坊）有限公司总经理李新说，“从研发、制造、到批量生产，必须要实现一个完全自主的产品，所以现在以无锡英凌为主导，在半导体扩散炉上边形成一个整体产业链的开发，保证在最短的时间内实现完全自主的扩散设备，打破国外垄断。”
英凌半导体新材料（潍坊）有限公司总经理半导体用扩散设备、炉体生产组装项目负责人朱滨泉告诉记者，“我们这套软件具有独立的自主知识产权，通过机器硬件的配合，都能实现完全的无人化生产，通过机械手的传递，可以实现170片碳化硅晶圆的生产。”
扩散设备集结了扩散、氧化、退火、合金、烧结等多项工艺，英凌在关键技术上的改进，保障了产品的稳定性，打开了行业市场，目前企业订单已排到年底。
英凌半导体新材料（潍坊）有限公司总经理半导体晶圆工艺制程关键设备及关键配件项目负责人孙德凯说，“现在与我们公司合作的半导体公司有50多家，像比亚迪、华瑞微等国内的知名企业，还有多家科研院所机构，我们为他们提供的主要是硅材料、半导体材料、功率半导体等领域的高端石英制品。”
为延补半导体产业链，项目还配套建设了半导体用特种金属精加工及金属配件板块，新上加工中心、数控立车、全自动焊接等先进设备，主要为半导体用扩散设备提供精密部件。
英凌半导体新材料（潍坊）有限公司总经理半导体用特种金属精加工及金属配件项目负责人李小伟说，“例如法兰总成 BOAT总成、SMIF总成和各种手臂总成，根据目前公司规划结合现各级客户分布，公司将于2025年实现年产值1亿元。”
英凌半导体新材料项目由无锡英凌半导体设备有限公司投资建设，总投资1亿元，主要围绕硅基、碳化硅基等核心材料，生产石英制品、立式扩散炉、加热炉体等产品。目前研发团队共有50多人，每年在研发方面的投入超过5000万元。
英凌半导体新材料（潍坊）有限公司总经理苏锡亮说，“产品覆盖光伏发电、通讯系统、医疗仪器、汽车制造等领域，现已实现自产化全产业链覆盖。”
英凌半导体项目仅是寿光大力发展新质生产力的一个代表。近年来，寿光依托资源优势和产业基础，聚力聚焦发展新质生产力，瞄准高端化、智能化、绿色化方向，积极推动智改数转网联赋能。同时积极开展新兴产业扩增量行动，紧盯元宇宙、氢能、新能源等前沿产业，瞄准生物基新材料、第三代半导体、新能源汽车等“新赛道”，力争实现从“0到1”从“1到100”的突破跨越。
寿光市融媒体中心记者 付德华 任杰
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