齐鲁网·闪电新闻8月21日讯 山东兴泰硅材科技有限责任公司以15亿元重金投入，成功攻克高纯度电子级硅烷系列材料国产化“卡脖子”技术，一举打破集成电路、光伏新能源等产业链在“芯片血液”上的对外依赖，用科技创新诠释“山东好品牌”的硬核实力。
乙硅烷，堪称芯片制造中的“魔术师”。它能让14纳米以下制程的晶体管薄膜在低温下精准成型，是3D闪存等尖端芯片的核心材料。然而就是这样一种需求旺盛的电子特气材料，长期以来，中国企业只能望“洋”兴叹。
技术封锁、参数保密、天价关税……国产替代的每一步都举步维艰。但兴泰硅材的跨国团队偏要在“无人区”撕开一道口子，立志自主研发乙硅烷的生产工艺，而设备国产化成为首要突破点。
历经上千次实验摸索，近2年技术攻关，他们终于在国内率先突破乙硅烷创新合成工艺，填补我国集成电路、半导体所需高端气体领域的空白。
在追求技术突破的同时，兴泰硅材还将“绿色基因”深植全产业链，通过独创的循环工艺，将乙硅烷生产线的副产品转化为光伏级硅烷，每年可减少2万吨碳排放，成为全省绿色低碳高质量发展标杆。
目前，兴泰硅材一期建设的年产5000 吨电子级硅烷 、50吨乙硅烷、1000吨二氯氢硅、500吨一氯氢硅等多个产品线已全部投产。企业正积极筹备二期项目，计划向下游延伸，布局电子级硅基芯片前驱体项目，全部建成达产后年产值可达30亿元。
得益于新泰市对产业发展的前瞻布局，坚持链式思维、集群发展，以兴泰硅材为引领，聚焦电子特气、半导体硅基前驱体和电子级新能源材料三大赛道，纵向连通上游原材料，横向拉动新材料产业项目集聚，着力构建最优产业生态。
从企业的技术突破到区域的产业布局，背后折射的是新泰市培育壮大高端化工产业新质生产力的决心，不断推动高端化工从“规模扩张”向“质量跃升”、从“要素驱动”向“创新驱动”加速转型。
记者 张晨 白璐 庞富浩
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